ALICAT 氣體質量流量計-抗腐蝕型 20S系列采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。

ALICAT 氣體質量流量計-抗腐蝕型 20S系列技術指標

介質要求    潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質種類    內置了130種氣體，請參考背面

                   一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量       程     從0-0.5 SCCM   到   0-5000 SLPM

最大顯示流量    128 %滿量程

顯  示  屏    帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ±（0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程）

高  精  度    ±（0.4 %讀數 + 0.2 %滿量程），選配

                   僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設備

累計流量精度    流量精度之外增加±0.5%額外誤差

重  復  性    ± 0.2 %滿量程

質量流量零點和滿量程溫度漂移    0.02%滿量程/℃（從25℃開始）

質量流量零點和滿量程壓力漂移    ±（0.08% 讀數+ 0.02% 滿量程）

                  （從校準壓力開始）

響應時間    10 ms

預熱時間    ＜1 s

默認標況（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度    ±0.75℃

工作濕度    0 ～100 %，無冷凝

最大工作壓力    1 MPa  表壓

操作壓力    如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPaA以上使用； 

                其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度    ±0.5%滿量程

極限耐壓    1.1MPa  表壓，進出口最大瞬時壓差可為0.5 MPa

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40 Hz@ 19200波特率；

                模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數字輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、                    

                   Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 量程誤差

供電電壓     9 - 24VDC （如選4 - 20 mA輸出，須為12 - 24 VDC ）

供電電流     40 mA （+ 40 mA輸出電流在 4-20 mA 或0-10VDC）

電氣接口    DB9M，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質     316L不銹鋼、FFKM（標準)

                   可根據特殊氣體選用FKM、EPDM、Buna

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求

防護等級    IP40

認       證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA（可選）