KLA探針式臺階儀P-7：P-7支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。

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