F60薄膜厚度測量儀就像我們的 F50產品一樣測繪薄膜厚度和折射率，但它增加了許多用于生產環(huán)境的功能。 這些功能包括凹槽自動檢測、自動基準確定、全封閉測量平臺、預裝軟件的工業(yè)計算機，以及升級到全自動化晶圓傳輸?shù)臋C型。

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